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薄膜凸起和开裂是同一种应力导致的吗?

星巢文化 2024-10-03 阅读 6

 知识星球里的学员问:我们产线上薄膜出了质量问题,都一概归结为应力过大。麻烦讲讲应力的种类,以及不同种类的应力会造成哪些薄膜问题?

内应力的种类?

薄膜凸起和开裂是同一种应力导致的吗?_衬底

内应力的分类很多,如果我们按作用的效果来分,可以分为压应力(Compressive Stress)与张应力(Tensile Stress)。

如上图,压应力是膜层受到衬底的压缩力,膜层具有缩小的趋势;而张应力是膜层受到衬底的拉伸力,膜层具有扩大的趋势。

薄膜凸起与开裂的原因?

薄膜凸起和开裂是同一种应力导致的吗?_衬底_02

如上图为压应力作用效果,膜层被压应力挤压,原子或分子之间的距离减小,当应力过大时,不堪重负的分子或原子选择向其他方向发展,这就在宏观上表现为小丘状的凸起物。

薄膜凸起和开裂是同一种应力导致的吗?_衬底_03

如上图为张应力作用效果,膜层被拉伸,原子或分子之间的距离增大,当应力过大时,分子或原子间的空隙得不到补充,这就在宏观上表现为膜层的开裂。

内应力还会造成哪些问题?

压应力:晶圆翘曲、膜层鼓泡等

张应力:晶圆翘曲,膜层脱落等



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